|
ews
電話：+86-0597-3011819
地址：福建省龍巖市永定區(qū)高陂鎮(zhèn)永定工業(yè)園區(qū)
福建中晶科技有限公司
年產(chǎn)120萬片技改項目烤箱設(shè)備招標(biāo)公告
一、項目名稱
福建中晶科技有限公司年產(chǎn)120萬片技改項目烤箱設(shè)備采購項目。
二、項目技術(shù)要求及售后服務(wù)書
見附件1
三、投標(biāo)有關(guān)事項及要求：
1.必須響應(yīng)技術(shù)要求及售后服務(wù)（附件1）承若。
2.本次招標(biāo)范圍（采購范圍）包括設(shè)備的供應(yīng)、運輸、安裝、調(diào)試、培訓(xùn)及售后服務(wù)。
3.采購的設(shè)備（洗滌塔）應(yīng)在合同簽訂后30天內(nèi)（含30天）出廠驗收合格并交貨。
4.投標(biāo)人如果完全響應(yīng)上述第三項第1、2、3點要求，請?zhí)峁┘夹g(shù)要求及售后服務(wù)書（附件1）和報價函（附件2）的蓋章原件（原件請密封并在密封袋上加蓋投標(biāo)人公章）。
5.當(dāng)有下列情況之一發(fā)生時，將依廢標(biāo)處理：
5.1報價函有涂改的；
5.2 投標(biāo)人不足三家的；
四、評標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)
本次招標(biāo)比選活動，采用最低價中標(biāo)方式，即總報價最低投標(biāo)人為第一中標(biāo)人，同等報價時優(yōu)先選擇服務(wù)過本企業(yè)項目的投標(biāo)人。
五、投標(biāo)截止日期
投標(biāo)截止時間：2022年1月14日上午11:00（以收到投標(biāo)文件時間為準(zhǔn)）。
六、報名方式、郵寄地址
參選材料須在規(guī)定的投標(biāo)截止期限前快遞或直接密封送達(dá)至我司且在外包裝袋上注明“烤箱設(shè)備投標(biāo)”。
郵寄地址：龍巖市永定區(qū)高陂鎮(zhèn)永定工業(yè)園區(qū)
福建中晶科技有限公司。
郵寄收件聯(lián)系人：吳女士
聯(lián)系電話：19906970336 （0597-3011820）
業(yè)務(wù)聯(lián)系人：孔先生
聯(lián)系方式：15280390026
七、投標(biāo)材料
1.營業(yè)執(zhí)照復(fù)印件（加蓋公章）；
2.法人身份證復(fù)印件（加蓋公章）；
3.報價函原件（須加蓋公章）；
4.技術(shù)要求及售后服務(wù)（須加蓋公章）。
八、其他要求
參選人在參與本次比選過程中須嚴(yán)格遵守國家有關(guān)法律法規(guī)、相關(guān)政策及廉潔從業(yè)的各項規(guī)定。
中標(biāo)人需在收到中標(biāo)通知書5個工作日內(nèi)與招標(biāo)方簽訂合同。
附件：1.技術(shù)要求及售后服務(wù)
2.報價函
附件1：
烤箱設(shè)備技術(shù)要求及售后服務(wù)書
一、技術(shù)要求
1、機(jī)外殼采用冷軋鋼板，內(nèi)膽及HMDS氣體管路使用不銹鋼316L材料，整體使用無縫焊接。整個系統(tǒng)材料優(yōu)質(zhì)制造，無發(fā)塵材料，適用100級潔凈車間。
2、可調(diào)節(jié)箱門閉合松緊度，一體成型硅橡膠門密封圈，確保箱內(nèi)高真空度。高密閉性，鋼化、防彈雙層玻璃門，確保HMDS氣體無外漏。
3、智能控溫，具有設(shè)定測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，溫度：RT+10-250℃，使用溫度200℃；控溫范圍：溫度分辨率0.1℃，溫度波動度：±0.5℃
4、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序溫度、真空度以及每一個程序時間。
5、HMDS管路帶加熱功能，使HMDS更易轉(zhuǎn)為氣態(tài)進(jìn)入箱體內(nèi)，內(nèi)膽外壁四周加熱。
6、帶有高低液報警裝置，且藥液瓶可視液位高低。
7、溫度與PLC互聯(lián)保護(hù)功能。
8、內(nèi)膽尺寸：450×450×450mm 外尺寸（長×寬×高）：1030×940×1730mm,尺寸偏差不超過10%
9、溫度波動度: ±0.5℃（100-150℃工作溫度）
10、溫度均勻性: ±2%℃
11、載物托架：2塊，可放置4-12寸晶圓
12、真空泵：油泵
13、抽速: 3min之內(nèi)達(dá)到（優(yōu)于）133pa
14、回壓: 30min回壓小于200pa
15、潔凈度:Class100。0.3um顆粒增長小于50顆（百級潔凈車間環(huán)境下，使用中晶顆粒測試儀測量：CLJ-BII(D)）
16、加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加熱
17、開箱溫度可以由USER自行設(shè)定來降低process時間
18、可分步編程0-99步，可加入溫度值、真空值鏈鎖、可編程抽真空、充氮氣、加HMDS，可單獨、可同時。
19、電源：AC 220V±10%、50Hz±2% 輸入功率：2400W
20、外殼溫度: 腔內(nèi)150℃工作溫度下，外殼溫度≤45℃，防止?fàn)C傷。
21、產(chǎn)能：≥15萬片/月（4寸）。
二、售后服務(wù)
1、設(shè)備保修期為設(shè)備驗收單簽署之日起12個月。
2、保修期內(nèi)乙方負(fù)責(zé)設(shè)備的維修與損壞備件更換，不收取任何費用，但是不包含設(shè)備的定期保養(yǎng)以及定期保養(yǎng)所需的易耗件。并且提供終身維修服務(wù)。
3、乙方在接到甲方報修通知后，24小時內(nèi)響應(yīng)并提出解決方案，并與甲方充分協(xié)商解決。
附件2：
福建中晶科技有限公司一臺烤箱設(shè)備采購項目
報價函
一、我司承若：
1.完全響應(yīng)本項目的要求。
2.在投標(biāo)截止日前提供標(biāo)的的正式報價。
二、標(biāo)的費用報價：
金額單位：萬元
序號 | 標(biāo)的 | 單位 | 數(shù)量 | 單價（含稅） | 總價（含稅） | 備注 |
1 | 烤箱 | 臺 | 1 |
說明：1.報價最多保留至小數(shù)點后2位。
投標(biāo)人：
（蓋章）
年 月 日
版權(quán)： 福建中晶科技有限公司 地址：福建省龍巖市永定區(qū)高陂鎮(zhèn)永定工業(yè)園區(qū) 電話: 0597-3011819
制作維護(hù)：億網(wǎng)行網(wǎng)絡(luò)
