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中晶科技 新技術(shù)新工藝助力企業(yè)增產(chǎn)增效
Date：2021/6/10 瀏覽人數(shù)：1470
中晶科技 新技術(shù)新工藝助力企業(yè)增產(chǎn)增效
近日，公司生產(chǎn)線完成蝕刻添加CHF3新工藝PSS產(chǎn)品的全面量產(chǎn)，這標(biāo)志著蝕刻添加CHF3工藝這一行業(yè)全新技術(shù)，經(jīng)過近2年的研究取得圓滿成功，這是公司近年來取得的又一項新技術(shù)、新工藝項目。
蝕刻添加CHF3工藝是指在PSS生產(chǎn)的蝕刻過程中適當(dāng)加入CHF3氣體，并配以科學(xué)調(diào)整電極功率、三氯化硼流量、設(shè)備腔體溫度等參數(shù)，實現(xiàn)提升蝕刻選擇比，縮短刻蝕工藝時間，提高產(chǎn)量，節(jié)約光刻膠及三氯化硼用量。經(jīng)初步統(tǒng)計，CHF3新工藝導(dǎo)入后蝕刻產(chǎn)能較以往提升10%以上，預(yù)估2021年此項技術(shù)創(chuàng)新將新增利潤超300萬元。
近年來，中晶科技始終將技術(shù)創(chuàng)新作為推動提質(zhì)增效的重要抓手和提升核心競爭力的重要途徑，緊盯行業(yè)技術(shù)趨勢，不斷加大技術(shù)研發(fā)力度，多項新技術(shù)、新工藝的實施，大力推動了公司生產(chǎn)經(jīng)營提質(zhì)增效、轉(zhuǎn)型升級。
